產品資訊

3D奈米電子顯微鏡 3D X ray Electron Microscopy-SEM-EDS+CT

  • 在同等級電子顯微鏡能量水平上,擁有最高顯微鏡分辦率(resolution),可以量測到以前無法檢查的材料或結構。
  • 是一款功能齊全的掃描電子顯微鏡,能夠對輕金屬合金和纖維複合材料等樣品進行奈米 CT 測量。
  • 可提供 30 nm 至 10 μm 範圍內的體素​​尺寸、高達 50nm(FWHM)的幾何放大倍率和 30 keV 的最大光子能量。
  • EDS 偵測器提供了樣本的 XRF 訊號和 CT-NANO 重建體積之間的額外相關性。
  • 配備直接轉換偵測器和尺寸最佳化的視野,可提供代表性的測試體積。
  • 掃描電子顯微鏡(SEM,scanning electron microscope)使用電子束在焦點尺寸為70奈米的超鋒利針頭上產生X射線。
  • 【CT影像解析度(volex)範圍】: 30nm~10um
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描述

【非破壞無損檢測_超高解析度3D奈米掃描式電子顯微鏡-SEM-EDS-CT】

探索 3D X 射線成像在材料研究、生命科學、自然資源和工業應用領域的可視化新可能性。

  • X 光電腦斷層掃描 (nanoCT)
  • 掃描電子顯微鏡(SEM)
  • X ray數位射線照相術 (DR)
  • 能量色散 X 射線光譜 (EDX)
  • 3D 體積計算
  • 無損檢測 (NDT) – 2D 和 3D(CT)
  • 獨立於材料的品質控制
  • X ray 穿透樣品3D影像: 缺陷辨識(空洞、裂痕等)
  • 輻射安全優於 1 µSv/h

 

額外資訊

X Ray CT

• volex; 39nm~10um
• FOV: Ø 49 – 3414 μm
• 光學幾何放大: 20x ~ 1400x
• 空間解析度(Spatial resolution):60nm
• CT 影像重建: TV-SART,Phase-Contrast

SEM

• 解析度<0.7nm
• 探針電流: Max. 500 nA
• 檢測器: UED+LED顯示器
• 電子槍: In-lens Schottky Plus field emission gun

數位X光影像

• 電壓: 30KV(最大)
• 電流: 500 nA(最大)
• 放大倍率: 20x~5500x
• 影像像素(Pixel): 1280×1280(pexil,Max.)
• 影像畫素大小(Pixiel):55μm

EDS

• XRF光譜解析度: <131 V(Mn Kα)
• 檢測器: SDD電子式冷卻檢測器,面積: 30 mm²

電源

AC 220V