摘要
從歐盟開始要求對電子電機產品管制有害物質(RoHS)起，XRF就逐漸成為各工廠在進料、製程及出貨檢查必備的快速工具，接著美國12歲以下的消費性產品對鉛(Pb)、鎘（Cd）的管制要求，XRF成為美國官方正式認可的快速篩選工具，全球各大XRF廠商，也因此投入更多的研究經費，來開發出更快速、更精準及更靈敏的XRF。在2009年起，就陸續有XRF製造廠開發出新一世代的XRF設備-SDD XRF，提供搞高解析度、高計數率、高靈敏度，在各種產業上提供您最可靠的分析結果。
市場變化與XRF技術演進
從歐盟開始要求對電子電機產品管制有害物質(RoHS)起，XRF就逐漸成為各工廠在進料、製程及出貨檢查必備的快速工具，接著美國12歲以下的消費性產品對鉛(Pb)、鎘（Cd）的管制要求，XRF成為美國官方正式認可的快速篩選工具，全球各大XRF廠商，也因此投入更多的研究經費，來開發出更快速、更精準及更靈敏的XRF。
SDD檢測器的硬體優勢
在2009年起，就陸續有XRF製造廠開發出新一世代的XRF設備-SDD XRF，其設備特性有:
1. 高解析度(high resolution): 140~160eV
● 適合分析位置相近的元素以及被空氣干擾的輕元素
● Si Pin: 大約210~230eV
2. 高計數率(high count per second): 150,000 cps
● 縮短檢測時間，S/N: √1/時間≒√1/強度，cps越大，代表在得到相同的檢測強度，所需要的時間成開根號縮短。
● 得到相同的強度，只要Si Pin的0.2~0.05倍的時間，即Si Pin在設定分析時間為100秒的話，對SDD的而言，得到‘相同的強度，只需5~20秒。
● 提昇XRF測樣稼動率，約Si Pin的5~20倍。
3. 高靈敏度(high sensitivity): 低的背景雜訊，提高各元素的檢測下限
● 一般而言，因手持式XRF光源強度約1~4W(W=電流X電壓)，在使用Si Pin的檢測器應用下，其元素的LOD約為20~50ppm左右。
● 在使用高靈敏度的SDD檢測器，其靈敏度提昇約6~10倍。
● 因背景雜訊降低，其穩定性更高，約Si Pin的2~5倍。
圖1.手持式SDD XRF Delta設備
圖2. SDD檢測器外觀圖
圖3. SDD(Silicon Draft Detector) 光電訊號轉換示意圖
SDD檢測器讓XRF於各領域應用能力
由上述SDD的特性，Innov-X已開發出新的機型-Delta，已滿足更多客戶在做材料上元素分析的應用，尤其是，您現在若使用化學濕式分析(原子吸收光譜儀,AA，感應藕合電漿光譜儀,ICP)，將可以與我們連絡，讓我們提供給您一個全新非破壞快速元素分析的方法，下列為在不同應用領域下，相關元素的檢測下限範圍(Limit Of Detector ,LOD)。
A. 合金應用:
● PMI: 石化廠、化學工廠、特殊化學品運輸管線、半導體、光電廠等應用。
● Scrap: 各種不銹鋼、合金、貴重金屬、金銀樓貴重金屬純度、稀有金屬等應用。
● 輕元素:鎂鋁合金、不銹鋼不純物-鋁(Al)分析、合金不純物-硫(S)及磷(P)分析、各種合金不純元素允收判定應用、特殊合金客製化應用。
B. 土壤環境污染及礦物分析應用:
● 土壤環境污染快速篩選應用(NIEA S322.60C):
As、Se、Hg、Pb、Th、U＜5ppm，Cr、Cd、Au＜10 ppm。
● 各種土壤基質(Soil Matrix)檢量線(Calibration curve)建立客製化服務。
● 可增加P、K、Ca、Mg等元素分析
● 可增加S、Cl等元素分析
C. 歐美均質材料有害物質法令應用:
● RoHS V2.0、Halogen Free及HR2420等應用。
● 在分析樣品時得到相同的強度值(穩定度)，檢測時間比Si Pin快5~20倍。
● 無鹵素LOD可達＜50 ppm。
● 重金屬鎘(Cd)LOD＜5 ppm，符合SONY GP的規範。
● 共元素的干擾大大的減少，數據再現性比Si Pin優。
上述為目前在手持式XRF常應用領域的說明，因SDD的特性，亦有更多及廣的應用，如:刑事鑑定、古物修復、材料(原料)不純物快速分析、建築物橋墩成份比較判斷、航太材質快速判斷等等。
歡迎各行各業同業及客戶與我司連絡，您在材料上的應用分析，我們將會給您新的分析視野。
