該系統結合了最先進組件以實現最高解析度。在硬體和軟體設計方面能夠完美地調整系統以滿足各種應用需求。除了高精度組件外，還開發了最先進重建演算法。
［頂級元件：高穩定性，卓越解析度］
✔ 系統解析度: 150nm
✔ Volex: 50nm(CT影像解析度)
✔ 光子計數檢測器(雜訊和暗電流為零)，最佳SNR
✔ 可變焦視野(100um~10mm)
✔ 光學系統光路自動對齊
✔ 最先進影像重建軟體(影像重建時間比典型快２～８倍）
高精度薄膜 XRF 參考樣品結合了多元素質量定量能力，專為 XRF 校正與高精度測量而設計。無需基質校正，確保測量結果精確一致。其 200 nm 超薄基板可進行透射測量，並且背景訊號極低，使其適用於高靈敏度應用。
| 最小體素(volex) | 50 nm |
|---|---|
| 幾何放大倍率(光學放大) | 1500x CT影像(Max.) |
| 光子檢測器 | Zero dark current |
| 可變視野(FOV) | 100um~10mm |
| X光光源 | 160KV，spot stability<100 nm2，世界最小的X光光斑 |
| 設備占地面積 | 2 x 1m(奈米CT級別中，佔地空間最小) |
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