由電子束激發的原子發射的二次電子(secondary electron)。
根據要觀察的為區域可選擇6萬倍率、15萬倍率及30萬倍率。
根據所需情況可以選擇SE、BSE及SE+BSE檢測器以符合需求。
高真空模式避免電子束被空氣中的粒子干擾。
鎢合金或LaB6電子槍可選擇。
針對各種材料微小區域缺陷例如:LED細部確認
針對樣品細部結構確認例如:Oil fiber結構確認
配合EDXRF系統可以做到表面的元素分析
(W)48 x (D)48 x (H)118 (cm)
<90 kg
鎢合金或LaB6
SE, BSE, SE+BSE
AC 220V