描述
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針對各種材料微小區域缺陷例如：LED細部確認
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針對樣品細部結構確認例如：Oil fiber結構確認
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配合EDXRF系統可以做到表面的元素分析
由電子束激發的原子發射的二次電子（secondary electron）。
根據要觀察的為區域可選擇6萬倍率、15萬倍率及30萬倍率。
根據所需情況可以選擇SE、BSE及SE+BSE檢測器以符合需求。
高真空模式避免電子束被空氣中的粒子干擾。
鎢合金或LaB6電子槍可選擇。
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