商用同步輻射X-Ray光源檢測技術上再往前邁進-奈米先進製程領域

能邁科技三高（高技術、高精準、高端）精密檢測設備高能上市！

能邁科技率先將奈米先進半導體精密檢測設備導入台灣

向來都在X-Ray應用領域掌握最新技術軟硬體的能邁科技，歷經2年努力終於引進最精密的高科技設備 – 奈米先進製程檢測系列設備，共三款的元件與奈米顯微鏡CT量測產品(XRM)，為的是滿足台灣奈米先進半導體進程產業材料與製程的獨佔市場需求；該設備與技術應用在奈米先進半導體製程上是全球首創應用，引進更多高科技軟硬體設備之後，能邁科技在台灣半導體產業上創造的一個里程碑。

這三款設備，專門應用於小於五奈米以下的半導體奈米製程，在國外高端先進廠家協助下，讓台灣半導體產業的廠商有優勢應用於製程上。

產品中全球獨特點有：

1. 全球最小光斑X-ray光源:

2. 全球亮度最高X-ray光源: 同步輻射級亮度X-ray光源

3. X-ray純化單色鏡片: 1Å均勻度X-ray 聚焦，平行或混合光學鏡片

4. 奈米顯微X-ray CT（XRM，X-Ray Microscope）

以下為設備的規格以及應用材質案例：

A. X-Ray 光源

• 最小的光班（X-ray spot size）： 5×5 um，空間解析度: 150 nm(奈米)，
• 商用最亮的光源：功率密度>625KW/mm2
• Soft line或Hard line靶材
• 最長工作距離：>150mm
• 已有成功使用於量測設備案例：奈米單晶XRD、顯微鏡X-ray CT、XPS、CD-XAS/EXAFS、XAS/EXAFS、TXRF、Phase contrast X-ray CT….等

B. X-Ray 純化鏡片

• 客製化應用：XRD升級XRR、SAXS、WAXS、uXRF，客製化XRD（如：高壓XRD）
• 多元素奈米厚度標準品
• 奈米X-ray光源：50um、50W、65KV（多金屬靶材）
• 同步輻射專用二維導光束鏡片（高光譜純度及低能耗對稱或聚焦或混合光束）

C. 奈米XRM（X-ray CT顯微鏡）

• 先進半導體製程奈米顯微CT檢測產品失效案例說明